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영업/기술부

Canon 노광기 이설 / Setup

노광기 반도체나 TFT, LCD 등 회로 공정이 필요한 제조라인에서 Photo Mask에 빛을 쪼여 반도체 웨이퍼나 TFT, LCD 유리기판에 회로를 그려주는장비

노광기 UM Cooling System

MPA(캐논 노광기)에서 노광열에 의한 AS(DEFOUS,얼룩)가 발생하기 때문에 UM Cooling 작업으로 인해 MIRROR 표면의 열로 인한 변형을 최소화 하여 ,Focus기인에 의한 불량율 감소하고 , MIRROR 표면의 열화를 최소화하여 양산품제작에 불량율을 줄일수있다.

UM 공조 System

위의 그림과 같이 빛이 닿는 부분의 온도가 매우 뜨겁기 때문에 공조 System UM 공조 System을 통한 Cooling 및 배기로 열로 인한 변형을 최소화 하여 ,Focus기인에 의한 불량율 감소하고 , MIRROR 표면의 열화를 최소화하여 양산품제작에 불량율을 줄일수있다.

Canon 노광기 각종 Parts 보유