Canon 노광기 이설 / Setup
| 노광기 | 반도체나 TFT, LCD 등 회로 공정이 필요한 제조라인에서 Photo Mask에 빛을 쪼여 반도체 웨이퍼나 TFT, LCD 유리기판에 회로를 그려주는장비 |
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노광기 UM Cooling System
MPA(캐논 노광기)에서 노광열에 의한 AS(DEFOUS,얼룩)가 발생하기 때문에 UM Cooling 작업으로 인해 MIRROR 표면의 열로 인한 변형을 최소화 하여 ,Focus기인에 의한 불량율 감소하고 , MIRROR 표면의 열화를 최소화하여 양산품제작에 불량율을 줄일수있다.
UM 공조 System
위의 그림과 같이 빛이 닿는 부분의 온도가 매우 뜨겁기 때문에 공조 System UM 공조 System을 통한 Cooling 및 배기로 열로 인한 변형을 최소화 하여 ,Focus기인에 의한 불량율 감소하고 , MIRROR 표면의 열화를 최소화하여 양산품제작에 불량율을 줄일수있다.
Canon 노광기 각종 Parts 보유
